EHT Semi Mid-Frequency RF™ | Wafer Bias, Plasmaerzeugung | 10 kV, 20 kW, 15 MHz

Bipolar | Streng kontrollierte Waferspannungen | Schmale Ionenenergieverteilungen (IED) | Kleine kritische Dimensionen

EHT Semi „ High-Frequency RF™“ Matchless HF-Generator

Semi-matchless-HF-Generatoren von EHT bringen neue Vorteile für die Halbleiterindustrie
Höhere Spannung im Vergleich zu bestehenden HF-Generatoren
Höhere Leistungsstufen können zu einem schnelleren Ätzen führen
Das Matching-Netzwerk muss eliminiert werden, wodurch Komplexität und Größe reduziert werden
Spannung, Leistung und Arbeitszyklus sind alle in Echtzeit einstellbar

Der Mittelfrequenzgenerator (< 1 MHz) kann mit sehr hoher Spitzenleistung für schnelle Ionisierung oder Hochspannungsvorspannung betrieben werden. Der Hochfrequenzgenerator arbeitet mit niedrigeren Leistungspegeln, aber Frequenzen bis zu ~15 MHz. Diese unvergleichlichen HF-Generatoren sind noch neu und haben daher einen geringeren technologischen Reifegrad als HF-Generatoren anderer Anbieter; Sie bieten jedoch neue Möglichkeiten.

Anwendung

Plasmagenerator (ICP und CCP) und Wafer-Bias

Vorteile

Direkte Ankopplung an das Plasma mit sehr niedriger Impedanz
Kein passendes Netzwerk erforderlich – reduziert die Komplexität
Keine reflektierte Leistung
Hochgradig kontrollierbare und präzise Ausgabe. Sowohl gepulster als auch kontinuierlicher Betrieb möglich
Lichtbogen- und Fehlerschutz
Schnelle Rückmeldung und Steuerung oder vorprogrammierte Steuerung möglich (< 10 μs)

Elektrische Daten:

Ausgangsspannung: 0-10 kV
Wellenformtyp: bipolare HF
Frequenz: 15 MHz
Spitzenleistung: 20 kWPeak power: 20 kW

Unvergleichlicher bipolarer Hochfrequenzgenerator mit 20 kW, 15 MHz und 0-10 kV, der sowohl gepulsten als auch kontinuierlichen Betrieb ermöglicht. — Unvergleichlicher bipolarer Hochfrequenzgenerator mit 20 kW, 15 MHz und 0-10 kV.

Unvergleichlicher Hochfrequenz-HF-Generator, bipolare Wellenform mit 10-µs-Impulsen von 13,56 MHz, repetitiver HF-Burst-Modus, wiederholt mit 50 kHz und 0-10 kV Ausgangsspannung. — Unvergleichlicher Hochfrequenz-HF-Generator, bipolare Wellenform mit 10-µs-Impulsen von 13,56 MHz, repetitiver HF-Burst-Modus, wiederholt mit 50 kHz.

Unvergleichliche Hochfrequenz-HF-Generatorwellenform mit steigender Flanke eines Hochfrequenzstoßes und präziser Ausgabe – sowohl gepulster als auch kontinuierlicher Betrieb möglich. — Unvergleichliche Hochfrequenz-HF-Generatorwellenform mit steigender Flanke eines Hochfrequenzstoßes.